YJJ AGP4000H00 MEMS مقياس فراغ رقمي بارد عالي الدقة مقياس فراغ Pirani

وصف المنتج:

YJJ AGP4000H00 MEMS عالية الدقة الرقمية الكاثود البارد مركب مقياس التخلخل Pirani مقياس التخلخل

سمات:

أنا. مقدمة المنتج

الموديل: AGP4000H00، مقياس الفراغ المركب كامل المدى، مقياس بيراني المدمج للتوصيل الحراري (قياس الفراغ الجوي إلى المتوسط) + مقياس التأين بالكاثود البارد (قياس الفراغ العالي)

التبديل التلقائي للوضع المزدوج، لا حاجة للاقتران بمقياسي فراغ مستقلين. مسبار قياس الفراغ المدمج من الفولاذ المقاوم للصدأ، مزود بشاشة عرض ملونة TFT محلية. يدعم أيضًا اتصال الإشارة التناظرية/الرقمية إلى PLC، وشاشة اللمس، ومضيف التحكم الصناعي.

السمة المميزة: شاشة اللمس Prophiles AGP4000 مشابهة لنموذج مقياس الفراغ هذا، ولكنه منتج مختلف تمامًا. يجب عدم الخلط بين شراء الأجهزة وتوصيلها.

ثانيا. معلمات الأداء الأساسية

1. نطاق قياس الفراغ (مركب ثنائي المقياس)

نطاق القياس الإجمالي: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (يمتد إلى 6 أوامر من الحجم، ويغطي الضخ الخام، والفراغ المتوسط، والفراغ العالي طوال العملية)

نطاق عمل بيراني: 1×10⁵ باسكال ～ 10 باسكال (يعمل دائمًا طوال العملية، المراقبة من الغلاف الجوي إلى الفراغ المتوسط)

عتبة بدء التشغيل التلقائي للكاثود البارد: <10 باسكال، يبدأ قياس التأين تلقائيًا للفراغ العالي تحت مستوى الفراغ هذا، دون الحاجة إلى التبديل اليدوي

وحدات القياس: Pa / mbar / Torr، يمكن تبديل ثلاث وحدات مرة واحدة، مع واجهات صينية وانجليزية

2. الدقة والاستقرار

خطأ التكرار: قراءة ±±5%

دقة القياس: ±30% قراءة كاملة النطاق

سرعة الاستجابة: استجابة على مستوى بيراني بالمللي ثانية؛ الكاثود البارد بدء تشغيل سريع ومستقر عند الجهد العالي

خصائص مكافحة التلوث: لا يحتوي الكاثود البارد على خيوط تنجستن ساخنة، ولن يتم حرقه بواسطة بخار الزيت أو غبار الطلاء، وله عمر أطول بكثير من مقياس التأين الكاثود الحراري

3. مواصفات إمدادات الطاقة الكهربائية

جهد إمداد الطاقة: تيار مستمر 15 إلى 30 فولت تيار مستمر واسع النطاق

إجمالي استهلاك الطاقة: ≥6 وات

واجهة متكاملة للاتصالات/إمدادات الطاقة: مصدر طاقة متكامل RJ45 + RS485

الاتصال الرقمي: Modbus RTU، معدل الباود 4800/9600/19200/115200 قابل للتعديل، يدعم الشبكات متعددة الأجهزة (العنوان 1 ~ 255)

الإخراج التناظري: خرج الجهد اللوغاريتمي 0 ~ 10 فولت، يمكن توصيله مباشرة بالمسجلات والوحدات التناظرية PLC

كمية التبديل: 2 مرحلات إنذار قابلة للبرمجة، يمكن ضبط عتبة فراغ عالية/منخفضة لربط المضخات والصمامات وأضواء الإنذار

4. الميكانيكية والبيئية والمواد

شفة الفراغ: شفة قياسية KF25 سريعة التحرير، وضيق هواء ممتاز، تدعم أي تركيب زاوية

مادة ملامسة التجويف: 304/316 من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول كهربائيًا، مناسبة للفراغ الخالي من الزيت، وأنظمة التفريغ المشحمة بالزيت الخفيف

نطاق درجة حرارة التشغيل: 5 درجة مئوية ~ 55 درجة مئوية

نطاق درجة حرارة التخزين: -20 درجة مئوية إلى 70 درجة مئوية

الحماية: ختم معدني كامل للآلة، مسبار مقاوم للغبار والتلوث الزيتي الخفيف

الشاشة: شاشة ملونة TFT صغيرة، عرض في الوقت الحقيقي لقيمة الفراغ، ودرجة الحرارة الداخلية، وحالة الاتصال، وأضواء تحذير مزدوجة اللون للفراغ العالي/المنخفض

ثالثا. مبدأ العمل

مقياس بيراني (مبدأ التوصيل الحراري)

سلك مقاوم تسخين MEMS داخلي، تمتص جزيئات الغاز الحرارة، كلما زاد الضغط، كلما كان تبديد الحرارة أسرع، انخفضت درجة حرارة المقاومة؛ تجمع الدائرة تغيرات المقاومة وتحول الغلاف الجوي إلى مستوى فراغ 10Pa، وتعمل بشكل مستمر طوال العملية.

مقياس التأين بالكاثود البارد (تفريغ الغسل)

عندما يكون الفراغ أقل من 10Pa، فإنه يقوم تلقائيًا بتحميل الجهد العالي، ويولد تأين الغاز تيارًا أيونيًا؛ كلما زاد الفراغ، قل تيار الأيونات، وبالتالي قياس نطاق الفراغ العالي 10Pa~10⁻⁶Pa.

تحدد MCU المدمجة نطاق الضغط تلقائيًا، وتتنقل بسلاسة بين وضعي القياس، وتخرج قيمة الفراغ بشكل موحد، ولا حاجة إلى معدات خلفية لإجراء تبديل منطق النطاق.

رابعا. المزايا الأساسية

يغطي المقياس الفردي نطاق التفريغ بالكامل، ليحل محل حل المسبار المزدوج التقليدي "مقياس بيراني + مقياس التأين"، مما يقلل من تكلفة المعدات ومساحة التركيب؛ الكاثود البارد بدون خيوط، لا يخاف من التأثير الجوي أو تلوث الطلاء، يتطلب القليل من الصيانة، ومناسب للإنتاج الصناعي المستمر على مدار 24 ساعة؛

إنه يأتي مع شاشة ملونة محلية، مما يسمح بقراءة قيم الفراغ في الموقع بدون كمبيوتر علوي، مما يجعل التصحيح والصيانة سهلاً؛

كما أن لديها مخرجات تناظرية 0-10 فولت + Modbus رقمية مزدوجة، متوافقة مع شاشات اللمس Proflex، وPLCs المختلفة، وأنظمة التحكم الصناعي؛

جهد عريض DC15 ~ 30V، متوافق مع خزانات المعدات لإمدادات الطاقة DC، توافق قوي في المواقع الصناعية؛

الحافة القياسية العالمية KF25، يمكن أن تتطابق بشكل مباشر مع المضخات الجزيئية والمضخات الميكانيكية وخطوط الأنابيب القياسية لغرف التفريغ.

سابعا. سيناريوهات التطبيق الرئيسية

1. معدات طلاء الفراغ لأشباه الموصلات (التطبيق الأساسي)

الرش المغنطروني، آلات التبخر، الطلاء البصري، معدات الأفلام الموصلة ITO

تعبئة الرقاقات، تنظيف البلازما، معدات الحفر، مراقبة العملية الكاملة للضخ الخشن → منحنى عملية التفريغ العالي

كشف تسرب التجويف الفراغي، مع معدات كشف تسرب الهيليوم لتحديد نقطة التسرب

2. معدات مختبر البحوث

حاضنات الخلايا اللاهوائية، وخزانات التجفيف بالتفريغ، وأفران التلبيد بالضغط الساخن

غرف محاكاة المناخ، ومناضد اختبار ضيق الهواء، ومعدات اختبار تقادم فراغ المواد

بحث في الغرف التجريبية ذات الفراغ العالي، ومراقبة فراغ مصدر الأيونات

3. بطارية الليثيوم، معدات تصنيع الطاقة الجديدة

خبز فراغ بطارية الليثيوم ، غرفة فراغ الحقن ، محطة كشف تسرب ضيق الهواء الخلية

نظام التبخر لإزالة الرغوة بالكهرباء، معدات طلاء الفراغ الكهربائي

4. الفضاء الجوي، صناعة الاختبارات الدقيقة

غرف اختبار الفراغ ذات درجة الحرارة العالية والمنخفضة لمكونات الفضاء الجوي، ومعدات محاكاة بيئة الفضاء للمركبات الفضائية

الأجهزة الدقيقة وأجهزة الاستشعار ومحطات معايرة الفراغ

5. معدات التفريغ الطبية الداعمة

غرف الضغط السلبي الطبية، معدات التعقيم الفراغي المعقمة، آلات تجفيف وتجميد العينات البيولوجية

أجهزة التنفس المصاحبة، التحكم في وصلة الضغط الفراغي (يمكن دمجها مع وصلة مستشعر ExplorIR-M-5 CO₂)

6. أتمتة الفراغ الصناعي العام

معدات امتزاز الضغط السلبي للفراغ، وآلات التعبئة والتغليف بالتفريغ، والتحكم في ربط مجموعة مضخات التفريغ، وإيقاف التشغيل التلقائي للمضخات الميكانيكية، والمضخات الجزيئية، وصمامات العزل.

سادسا. دعم حلول الواجهة (متوافقة مع المواد الموجودة لديك)

الشاشة العلوية: شاشة لمس AGP4000 Proflex، قراءة قيم الفراغ من خلال Modbus RJ45، تنفيذ المنحنى، والتنبيه، ومنطق العملية التلقائي؛

وصلة الغاز: مقترنة بمستشعر ExplorIR-M-5 CO₂ ومستشعر الرائحة ZP152 لتحقيق مراقبة متكاملة للفراغ في الغرفة + تركيز الغاز؛

آلة طبية كاملة: مدمجة مع مضيف مراقبة مسبار الأكسجين في الدم DS100A، تستخدم للفراغ الطبي + معدات متكاملة لعلامات الحياة.

تحديد: