YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS مقياس تدفق كتلة الغاز الحراري 0.5-50 SLPM 1.5MPa

وصف المنتج:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS مقياس تدفق كتلة الغاز الحراري 0.5 - 50 SLPM 1.5MPa

الخصائص:

I. تفكيك النموذج (المعاني التفصيلية لكل موقع)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A

MF5006: السلسلة، DN6 (قطر داخلي 6mm، 1/4 "الواجهة)

N2: الغاز القياسي = النيتروجين (N2)

M: مبدأ تدفق الكتلة الحرارية MEMS

E: قشرة سبيكة الألومنيوم

0.5: الحد الأدنى للمدى 0.5 SLPM (الليترات القياسية في الدقيقة عند 20 درجة مئوية / 1 atm)

50: أقصى نطاق 50 SLPM

15: ضغط العمل الأقصى 1.5 MPa

AB: الإخراج = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: مع شاشة LCD (التيار الفوري + التراكمي)

ج: التكوين القياسي (لا تخصيص خاص)

المعلمات الأساسية (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A)

1أداء القياس

الوسيط المقاس: N2 ، الهواء ، O2 ، Ar ، CO2 ، الخ جاف ، نظيف ، خال من الزيت ، بدون غازات التكثيف

الحفرة / الواجهة: DN6، 1/4 "الخط الداخلي (G1/4 أو NPT1/4)

النطاق (N2 ، 20 درجة مئوية / 1 atm): 0.550 SLPM (الليترات القياسية / الدقيقة)

الدقة: ± 1.5% القراءة + 0.2% FS

قابلية التكرار: ≤ ± 0.5% FS

نسبة النطاق: 100: 1 (النطاق الواسع ، حساسية التدفق المنخفضة)

وقت الاستجابة: ≤100ms (التغييرات السريعة في التدفق)

تدفق البدء: منخفض إلى 8 ملم / ثانية (يتم قياس تدفق صغير للغاية)

2الكهرباء والإنتاج

إمدادات الطاقة: 1224 VDC ± 10٪ ، استهلاك الطاقة < 2W

الخروج التناظري: 4 ′′20mA (يتوافق مع 0 ′′50 SLPM)

الاتصالات: RS485 (Modbus-RTU) ، مراقبة بعيدة قابلة للشبكة

الشاشة: شاشة LCD ، تظهر التدفق الفوري (SLPM) + التدفق التراكمي

3الميكانيكا والبيئة

مواد الغلاف: سبيكة الألومنيوم (النوع E) خفيفة الوزن مقاومة للتآكل

مادة الاتصال: 316L الفولاذ المقاوم للصدأ

ضغط العمل: ≤1.5 MPa (15bar)

درجة حرارة العمل: -20°C إلى +60°C

الرطوبة: 0~95% RH (لا توتر)

درجة الحماية: IP40 (عازمة على الغبار ، داخلية / بيئة صناعية عامة)

التثبيت: التثبيت الأفقي / الرأسي حسب الإرادة ، لا يلزم قطعة أنابيب مستقيمة (ميزة MEMS الحرارية)

4الخصائص الأساسية

MEMS الحرارية: قياس مباشر لتدفق الكتلة ، لا توجد تعويضات درجة الحرارة / الضغط ، الدقةتأثير تقلبات درجة الحرارة / الضغط

الضغط التفاضلي المنخفض للغاية: الحد الأدنى من فقدان الضغط ، مناسب لنظم الضغط المنخفض / تدفق صغير

استقرار عال: نقطة الصفر للتحرك صغيرة ، بدون صيانة طويلة الأجل

III. التطبيقات الرئيسية (القياس الدقيق للغازات ذات التدفق المنخفض)

1أشباه الموصلات / الإلكترونيات (السيناريو الأساسي)

النيتروجين عالي النقاء (N2) ، والأكسجين (O2) ، والآرغون (Ar) ، ونسبة غازات العملية ومراقبة التدفق

التحكم الدقيق في الغازات ذات التدفقات الصغيرة في معالجة الألواح والانتشار والحفر ومعدات الترسب

2الطب / الصيدلة

مراقبة تدفق الأوكسجين / النيتروجين في المستشفى (أجهزة التنفس وأجهزة التخدير)

غاز الصيدلة العقيم، غاز الحماية (N2/Ar) قياس دقيق

3المختبر / البحث

نسبة تدفق صغيرة، خلط، مراقبة غازات التفاعل للغازات التجريبية (N2/O2/Ar/CO2)

قياسات الغازات ذات التدفق المنخفض للكاثاليز، والاحتراق، وعملية أخذ العينات البيئية، إلخ.

4الأتمتة الصناعية

تحكم ثابت في تدفقات صغيرة للغازات الحماية لللحام (Ar/CO2)

مراقبة تدفق المعالجة الدقيقة، معدات التفتيش

فرع صغير من الهواء المضغوط / معدات قياس استهلاك الطاقة النهائي

5البيئة / الطاقة الجديدة

غازات العادم ذات التركيز المنخفض، غازات الخلفية لتحقيق عينة تدفق صغيرة

قياس غاز الهيدروجين بتركيز منخفض لخلايا الوقود الهيدروجينية

المواصفات: