وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية YJJ AS200A008C100CJCC - مقياس تدفق غاز عالي الدقة

وصف المنتج:

YJJ AS200A008C100CJCC وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية MFC - مقياس تدفق الغاز عالي الدقة

الميزات:

وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية سلسلة AS200

يوفر برنامج كمبيوتر علوي قوي مجاني قائم على العميل

وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية سلسلة AS200 مناسبة لمختلف الغازات التقليدية، مما يحسن دقة وموثوقية نتائج قياس التحكم في تدفق الكتلة الغازية. دقة التكرار تصل إلى 0.2% من المقياس الكامل؛

معدل تسرب منخفض يبلغ 1x10-0 باسكال.متر مكعب/ثانية هيليوم، إحكام هواء جيد، يضمن سلامة الإنتاج؛ يمكنه دعم مخرجات إشارات متعددة، بما في ذلك الإشارات الرقمية، والإشارات التناظرية 1-5 فولت، والإشارات التناظرية 4-20 مللي أمبير، والتي يمكن أن تستخدم مصدر طاقة واحد (+15~+28 فولت تيار مستمر)، مناسب لسيناريوهات العمل المختلفة؛ بروتوكول الاتصال المفتوح القياسي يوفر الراحة للعملاء لتطوير برامج التحكم والاستحواذ بشكل مستقل؛ في الوقت نفسه، يوفر المنتج أيضًا برنامج كمبيوتر علوي قوي مجاني قائم على العميل، مما يسهل تصحيح الأخطاء وتشغيل المستخدم.

تم تطوير منتجات سلسلة AS200 بواسطة Aosong Electronics باستخدام تقنية MEMS المتقدمة. في العديد من الجوانب مثل تشغيل المستشعر، والتحكم في انحراف الصفر، والتحكم في الصمام، تم اعتماد تقنيات أساسية لضمان الأداء العالي والجودة العالية والموثوقية العالية للمنتجات. إنه جهاز عالي الجودة يتمتع بثبات جيد ودقة عالية ومعدل تسرب منخفض ومقاومة ضغط عالية.

تُستخدم وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية (MFC) سلسلة AS200 بشكل أساسي للتحكم الدقيق وقياس تدفق الكتلة الغازية. تلعب AS200 دورًا مهمًا في البحث والإنتاج في مختلف المجالات مثل تكنولوجيا الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات، والمواد الخاصة، والصناعة الكيميائية، وصناعة البترول، والطب، وحماية البيئة، والفراغ. تشمل سيناريوهات التطبيق النموذجية: معدات عمليات الدوائر المتكاملة، مثل الترسيب بالتبخير، والانتشار، والحفر بالبلازما، والترسيب بالرش، وزرع الأيونات ومعدات CVD المختلفة؛ معدات صناعية أخرى، مثل صهر الألياف الضوئية، وأجهزة التفاعل الدقيقة، وأنظمة خلط الغاز وتوزيعه، وأجهزة أخذ عينات الغاز، وأجهزة قياس الشعرية، وأجهزة الكروماتوغرافيا الغازية وغيرها من الأجهزة التحليلية.

وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية

مصدر الطاقة: 15 - 24 فولت تيار مستمر (قطب واحد)

نطاق القياس: 1 - 100، 2 - 20 3~300SCCM/دقيقة

0.03 - 3، 0.05 - 5، 0.1 - 10، 0.2 - 20،

0.3 - 30، 0.5 - 50 SLM/دقيقة

دقة التكرار: ±0.2% من المقياس الكامل

وقت الاستجابة: 1 ثانية

بيئة التشغيل: 5 - 45 درجة مئوية

الحجم: 112.8 * 38 * 115 ملم

المواصفات: