|
تفاصيل المنتج:
|
| مقياس كامل: | 100 SCCM | مزود الطاقة: | +15 إلى +28 فولت تيار مستمر (مصدر فردي) |
|---|---|---|---|
| إشارة: | 0-5 فولت تناظري؛ يدعم الاتصالات الرقمية RS485 | دقة: | ±1% FS؛ التكرار: ±0.2% FS |
| إبراز: | وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية لتصنيع أشباه الموصلات,مستشعر تدفق الهواء الطبي مع الضمان,وحدة تحكم التدفق AS200A008C100CJCC |
||
وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية AS200A008C100CJCC للاستخدام في عمليات تصنيع أشباه الموصلات
التطبيقات النموذجية
معالجة أشباه الموصلات، CVD، أنظمة توزيع الغاز، التحكم في غاز المختبر، الأجهزة التحليلية، إلخ.
المواصفات:
| معدل التسرب | 1×10¹¹¹¹ باسكال.متر³/ثانية (الهيليوم) |
| مقاومة الضغط | 3 ميجا باسكال |
| سلسلة منتجات AS200 | وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية MEMS |
| A (نوع الختم) | A = ختم مطاطي؛ الإشارة: إدخال/إخراج تناظري 0-5 فولت |
| 008 (رمز الغاز) | 008 يتوافق مع الغاز المحدد |
| C (وحدة النطاق) | C = SCCM (سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة) |
| 100 (مقياس كامل) | 100 SCCM |
| CJCC | لاحقة لمزيج الواجهة، نوع الصمام، الكهرباء، والتجهيزات |
اتصل شخص: Xu
الهاتف :: 86+13352990255
Arabic
