إشارة تكييف:تضخيم
نطاق التدفق / الضغط:200 SCCM
جهد الإخراج @ نقطة تقليم:5.0 VDC @ 200 SCCM
نطاق التدفق (النطاق الكامل):+1000 SCCM
جهد الإخراج @ نقطة تقليم:5 VDC @ 1000 SCCM
الجهد الفارغ:1.00 ± 0.10 VDC
الإثارة الموصى بها (باستخدام دائرة الاختبار):10 ± 0.01 Vdc 15 Vdc على الأكثر (2)
استهلاك الطاقة:30 ميغاوات
نقطة تقليم جهد الخرج:50 mV @ 650 SCCM
مجموعة تدفق:+200 SLPM
جهد الاثاره:10 VDC ± 0.01 VDC
إمدادات الطاقة:8.0 vdc min./10.0 vdc typ./15.0 vdc max.
نطاق التدفق (النطاق الكامل):± 200 SCCM
جهد الإخراج @ نقطة تقليم:30 mV @ 100 SCCM
تحول الجهد الفارغ ، typ. +25 درجة إلى 25 درجة مئوية ، +25 درجة إلى 85 درجة مئوية:± 0.20 mV
النوع:التفاضليه
نطاق الضغط:±5 mbar ±500 Pa ±2.0 inH2O
غاز المعايرة:هواء
النوع:تدفق الكتلة
مجموعة تدفق:± 200 SCCM
فولتاج الإثارة3:8.0 vdc min./10 vdc ± 0.01 VDC typ./15 vdc max.
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:0 SLPM إلى 6 SLPM
غاز المعايرة:النيتروجين
الجهد التحفيزي الموصى به:10.000 ± 0.010 VDC
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:+1000 SCCM
غاز المعايرة:النيتروجين
الجهد التحفيزي الموصى به:10.000 ± 0.010 VDC
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:± 1000 SCCM
الجهد التحفيزي الموصى به:10 ± 0.01 Vdc
إمدادات الطاقة: الحد الأدنى الحد الأقصى:8.0 VDC 15.0 VDC
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:± 30 SCCM
الجهد التحفيزي الموصى به:10 ± 0.01 Vdc
استهلاك الطاقة:30 ميجاوات TYP.
نطاق التدفق / الضغط:0 SLPM إلى 20.0 SLPM
جهد الإخراج @ نقطة تقليم:5.0 VDC @ 20 SLPM
نمط المنفذ:1/4 in - 18 npt
