النوع:تدفق الكتلة
مجموعة تدفق:± 200 SCCM
فولتاج الإثارة3:8.0 vdc min./10 vdc ± 0.01 VDC typ./15 vdc max.
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:0 SLPM إلى 6 SLPM
غاز المعايرة:النيتروجين
الجهد التحفيزي الموصى به:10.000 ± 0.010 VDC
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:+1000 SCCM
غاز المعايرة:النيتروجين
الجهد التحفيزي الموصى به:10.000 ± 0.010 VDC
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:± 1000 SCCM
الجهد التحفيزي الموصى به:10 ± 0.01 Vdc
إمدادات الطاقة: الحد الأدنى الحد الأقصى:8.0 VDC 15.0 VDC
نطاق التدفق (النطاق الكامل) 1:± 30 SCCM
الجهد التحفيزي الموصى به:10 ± 0.01 Vdc
استهلاك الطاقة:30 ميجاوات TYP.
نطاق التدفق (النطاق الكامل):0-10 SLPM
لاحقة - غاز المعايرة:VA-Argon (AR) VC-Carbon Dioxide (CO2) VN-Nitrogen (N2)
توصي بمصدر الطاقة:10.0±001
الإثارة الموصى بها:10 ± 0.01 VDC
استهلاك الطاقة:50 ميغاواط
الجهد الفارغ:1.00 ± .10 VDC
مسلسل:سلسلة FS4308
الدقة:± (1.5+0.15FS) ٪
درجة حرارة العمل:60
درجة جيدة من:+ 1.5 + 0.2 (FS) ٪
التكرار:0.75
انحراف الناتج صفر:زائد أو ناقص 30 mV
قطر دائرة الانبوب:3 ملم
النوع:عداد التدفق
المواد:بولي كلوريد الفينيل
ضغط العمل:0.8 ميجا باسكال
درجة حرارة العمل:درجة الحرارة العادية ℃
مستشعر MEMS:FS4008-50-08-CV-A مستشعر التدفق
النوع:تدفق الهواء/الضغط الجديد
تستخدم ل:الغاز الجاف
النطاق:0 لتر/دقيقة إلى 15 لتر/دقيقة
Arabic
