Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
القوة:11.4 ~ 25.2v
النطاق:0.5 ~ 10،1.8 ~ 32،5 ~ 85،9 ~ 150l/min
دقة النطاق الكامل:x ± 1 ٪ (<50 ٪ نطاق)
مجموعة تدفق:0 ~ 2000 ... 6000
الدقة:± (2.0+0.5FS) ٪
نسبة الانخفاض:> 100: 1
للاستعمال مع:الغاز الجاف
النطاق:+/- 200 سم/دقيقة
الدقة:0.35%
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
انجراف الإخراج نقطة الصفر:+30 mV
انحراف الإخراج:+0.12 ٪/OC
مصدر طاقة العمل:8-18VDC ، 100mA
المسار (ن):2.3. 4. 5
معدل المد و الجزر:10 ، 20 ، 30 ، 40 ، 50 SLPM
نسبة المدى:100: 1
